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第三，用溅射、光刻等工艺在微型腔体底部制作微型加热器和温度传感器，实现对反应腔体的加热及其温度的精确测量，提供PCR扩增反应所需的温度条件。
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Study of Pressure Distribution in Sputtering Chamber of Multi-Source Roll Coater
多靶连续卷绕镀膜机溅射室布气均匀性研究
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